微技术

微技术（英語：）包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學（Optical MEMS）、生物醫學（Bio MEMS）、電腦與週邊（Computer Peripheral MEMS）微機電系統研究[1][2]。

一块蚀刻硅片

参考
  1. 王伯雄等编著. . 北京：清华大学出版社 ,. 2006.08: 2–3. ISBN 7-302-13063-9.
  2. 杨继全，朱玉芳编著. . 北京：化学工业出版社 ,. 2004.09: 237. ISBN 7-5025-5961-2.
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