重氮萘醌

重氮萘醌（英語：）是萘醌的重氮衍生物。 一旦曝光，它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮。[1]在半导体行业中，各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光劑。

重氮萘醌
IUPAC名 2-Diazo-2H-naphthalen-1-one
别名	1,2-Naphthoquinone diazide
识别
CAS号	879-15-2
PubChem	9815339
ChemSpider	7991089
SMILES	O=C(C(C=C2)=[N]=[N])C1=C2C=CC=C1
InChI	1/C10H6N2O/c11-12-9-6-5-7-3-1-2-4-8(7)10(9)13/h1-6H
InChIKey	URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYAU
性质
化学式	C10H6N2O
摩尔质量	170.17 g·mol−1
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

在半导体制造的過程中，重氮萘醌的磺酸酯通常會用作光刻胶材料中的正性感光劑。[2][3]在这种应用中，重氮萘醌會與酚醛树脂混合，以作为溶解抑制剂。在曝光的过程中，部分光刻胶膜會暴露在光线下，而其他部分則不會。在未曝光的區域裡，含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然會不溶于水基顯影液中。 而在曝光的區域裡，重氮萘醌會形成烯酮，由此再与环境中的水形成可溶於鹼的茚並羧酸。光刻胶膜中已曝光的區域因而可溶于鹼性溶劑，從而將光刻膠層中的圖形顯現出來。